真空バルブには、真空システムで多くの用途があり、主に次の側面を含みます。
- スイッチガスパス：気流のフロールートを変更し、真空システム内の異なるパイプラインのオンオフ制御を実現できます。たとえば、真空コーティング装置では、真空バルブの開閉を制御することにより、コーティングチャンバーを接続または接続することができ、真空ポンプやインフレシステムなどのさまざまなパイプラインで切断して、コーティングプロセスのさまざまな段階のニーズを満たすことができます。
- 気流のサイズを制御します。調節真空バルブは、バルブカバーの開口角を制御し、パイプラインを流れる空気流のサイズを調整し、容器内の真空度を制御できます。たとえば、真空程度の正確な制御を必要とするいくつかの実験または生産プロセスでは、真空バルブの開口を調整することにより、システムの真空度を必要な範囲内に保つことができます。
- 定量的インフレ：一部の真空バルブは、定量的インフレ機能を実現できます。たとえば、ガラスバルブのプランジャーに特定のボリュームの小さな穴がある場合、小さな穴が高圧ガスシリンダーに接続されている場合、高圧ガスで満たすことができます。真空容器に接続されると、高圧ガスの量が容器に入れられ、それによって定量的なインフレが実現されます。
- 分離システム：2つのフローパスを分離し、システム圧力を維持し、流れの損失を減らすことができます。真空システムでは、特定の部分で部品を修理、交換、または他の操作が実行される必要がある場合、対応する真空バルブを閉じて、システムの残りの部分から部品を分離して、ガス漏れまたは他の部品の通常の動作に影響を与えるのを防ぐことができます。
- 真空ポンプの保護：真空ポンプの空気入口に設置して、機械的な真空ポンプがオイルを返すのを防ぎます。真空システムの圧力が異常に変化すると、真空バルブを時間内に閉じて、石油が真空システムに引き込まれないようにし、真空ポンプやその他の機器を損傷から保護できます。
- トランスファーオブジェクト：マルチチャンバー真空システムでは、トランスファーバルブを使用して、特にトランスファーチャンバーとプロセスチャンバーの間で、あるチャンバーから別のチャンバーにオブジェクト（ウェーハなど）を転送でき、多室システムに理想的な選択肢です。