- 圧力減衰法
- 機器の準備：真空ポンプ、圧力センサー、真空試験チャンバー、および関連する接続パイプとバルブが必要です。
- バルブの取り付け：真空検査チャンバーの適切な位置に真空チェックバルブを取り付けて、しっかりと取り付けられ、よく密閉されていることを確認します。
- 避難：真空ポンプを起動し、試験室を避難させて、チャンバー内の圧力を設定された真空度まで減らします。
- 監視圧力：真空ポンプと関連バルブを閉じて、テストチャンバーを外の世界から分離し、圧力センサーを使用してチャンバーの圧力変化をリアルタイムで監視します。バルブがよく密閉されている場合、チャンバー内の圧力は安定したままでなければなりません。漏れがある場合、圧力は徐々に上昇します。
- データ分析：圧力変化の速度と振幅に基づいて、バルブのシーリング性能を判断します。圧力上昇率が遅いほど、シーリング効果が向上します。逆に、シーリング効果が悪化します。
- ヘリウム質量分析計漏れ検出方法
- 機器の準備：ヘリウム質量分析計漏れ検出器、真空ポンプ、ヘリウム源、および接続パイプなど。
- 掃除機：真空チェックバルブを真空チャンバーに置き、真空ポンプを使用して、一般的に10pa未満の指定された真空度に汲み上げます。
- ヘリウムを塗布：バルブのテストされた部分の外にヘリウムを塗布します。ヘリウム分子は分子量が小さいため、小さな漏れチャネルを介してバルブの内側に入ることができます。
- ヘリウムの検出：ヘリウム質量分析計漏れ検出器は、バルブに入るヘリウムを検出し、対応する信号を表示します。信号の強度と変化に応じて、バルブが漏れているかどうか、漏れの重症度を決定します。
- バブルメソッド
- 機器の準備：透明な容器、水、真空ポンプ、パイプの接続など。
- バルブの取り付け：透明容器の一端に真空チェックバルブを取り付けて、取り付けがよく密閉されていることを確認します。
- 掃除機：真空ポンプを使用して容器内の空気を抽出して、容器内に真空状態を形成します。
- 泡を観察する：掃除機関中に、容器の水面で泡が生成されるかどうかを観察します。泡が生成された場合、バルブが漏れていることを意味します。泡が速く生成されるほど、漏れが深刻になります。
- 適用方法
- 材料の準備：石鹸水、洗剤水、またはその他の粘性および発泡液体。
- 液体を塗布：バルブカバーとバルブ本体の間の接続、バルブステムと梱包などの接触など、真空チェックバルブのシーリング部分に石鹸水または洗剤水を塗ります。
- 泡を観察する：液体が適用されている領域で泡が生成されるかどうかを観察します。泡が生成された場合、それはその領域に漏れがあることを意味します。泡が速く生成されるほど、漏れが深刻になります。
