真空ゲートバルブ

真空ゲートバルブは、真空システム用に特別に設計されたバルブです。ゲートプレートの垂直リフティングを通じて、流体のオンオフ制御を実現します。そのコア機能は、真空環境でのパイプラインシーリングと中隔離を確保することです。そのシーリングパフォーマンスは、通常のゲートバルブのパフォーマンスよりも優れており、適用可能な真空範囲は通常10〜10⁻7 Paです。

コア構造と作業原則
Designealingsingsealing：
二重シーリング構造の採用：真空シーリングリング（自己拡張および圧縮設計）がバルブステムパッキングに追加され、バルブシートとゲートは中圧でセルフシールされます（中圧は閉じたときにゲートをバルブシートに押します）。
強制シーリングタイプは、シーリング効果を高めるために（ボルトプリロードなど）外部圧力（ボルトプリロードなど）に依存する必要があります。
‌キーコンポーネント‌：
バルブ本体は通常、真空環境腐食に耐性のあるステンレス鋼（304、316Lなど）でできています。
ゲートとバルブのシートは、貨物またはポリテトラフルオロエチレン（PTFE）で作られており、漏れのリスクを減らします。

 

真空ゲートバルブ

 

アプリケーション
真空コーティング装置：コーティングチャンバーの真空分離とガスフロー制御に使用。
半導体製造：高純度ガス配送システムの封印と切断。
科学研究実験装置：粒子加速器、真空炉、その他の機器の真空パイプライン管理

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